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top SF6 가스 equipment

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SF6 가스 주입 방법으로는 먼저 결함을 삽입하고 개폐기를 밀봉시킨 후 5.6×10-2 torr 만큼 진공시키고 내부 안정화시킨 후 개폐기의 상온에서의 규격 SF6 가스압력인 1.2kg f/m2 (1.2bar)를 주입하였다 [8].

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